Termopara profilu półprzewodnikowego

Typ: s, r
Drut lub średnica MIMS: φ {0}}. 35 ~ 0,5
Working Temp (stopień): 0 ~ 1100
Liczba punktów: 3 ~ 6 punktów
Zastosowanie: Kontrola temperatury procesu produkcyjnego komórek fotowoltaicznych (PV).

Aplikacja

Piec dyfuzyjny utleniania jest kluczowym urządzeniem procesowym do produkcji komórek PV. Miesza i rozprasza śladowe ilości boru, fosforu i innych pierwiastków na waflu krzemu w wysokich temperaturach, aby przygotować złącze PN i komponować z niego zintegrowane obwody. Można go również wykorzystać do przygotowywania warstw SIOX na powierzchni wafla krzemowego w celu ochrony płytek. Często stosowanie termopar mierzących zarówno wewnętrzne, jak i zewnętrzne części pieca w celu kontrolowania temperatury wewnętrznej pieca dyfuzyjnego, który mógłby wykonać proces utleniania. Każda określona strefa temperatury ma zewnętrzną i wewnętrzną termoparę, aby upewnić się, że wyniki miary są wiarygodne. Do pomiaru temperatury waflowej stosuje się wielofunkcyjne termopary kwarcowe szlachetnego metalowego, zwykle ma 3 ~ 9 punktów pomiarowych, reprezentując temperaturę opłatek.

Opis produktów

W tym celu Duchin opracował zastrzeżone techniki i produkty, takie jak wielopunktowa termopara kwarcowa metalowa do pomiaru temperatury całego sekcji w piecu dyfuzyjnym, urządzeniu kalibracyjnym dla wielopunktowej termopary.

Produkt ma pewne cechy niezawodnego pomiaru temperatury, wysoką dokładność, dobrą stabilność, szybką reakcję termiczną, anty-interferencję, odporność na uderzenie o wysoką i niską temperaturę, długą żywotność i tak dalej. Parametry techniczne termopary profilu półprzewodnikowego są następujące:

Parametry techniczne	Termopara profilu półprzewodnikowego
Typ	S,R
Drut lub średnica MIMS	φ0.35~0.5
Pracujący temperatura (stopień)	0~1100
Dokładność (stopień)	±1.0
Długość rurki ochronnej (mm)	Mniej niż 4000
Średnica rurki ochronnej (mm)	φ12~18
Materiał rurki ochronny	Kwarc
Struktura gorąca	Narażony
Liczba punktów	3 ~ 6 punktów
Zakończenie	Mały złącze
Drut odszkodowania	Sc {{0}} × 0,5fpf
Charakterystyka struktury	Złożenie t/c w połączeniu dla każdego punktu jest dość trudne