Główna wielopunktowa termopara BF

Opis produktów

Piec dyfuzyjny utleniania jest kluczowym urządzeniem procesowym do produkcji komórek PV. Miesza i rozprasza śladowe ilości boru, fosforu i innych pierwiastków na waflu krzemu w wysokich temperaturach, aby przygotować złącze PN i komponować z niego zintegrowane obwody. Można go również wykorzystać do przygotowywania filmów SiOX na powierzchni wafla krzemowego w celu ochrony płytek.

Często stosowanie termopar mierzących zarówno wewnętrzne, jak i zewnętrzne części pieca do kontrolowania temperatury wewnętrznej pieca dyfuzyjnego, która może wykonać proces utleniania. Każda określona strefa temperatury ma zewnętrzną i wewnętrzną termoparę, aby upewnić się, że wyniki miary są wiarygodne. Wewnętrzne termopary są używane do pomiaru temperatury opłat, zwykle ma 3 ~ 9 punktów pomiarowych, reprezentując temperaturę opłatek. Zewnętrzne termopary są używane do wyczucia zewnętrznej powierzchni rurki pieca, każda zwykle ma tylko jedną parę drutów, aby zapewnić pośredni pomiar pieca. Zwykle temperatura procesu utleniania jest niższa niż proces dyfuzji, zatem można zastosować główną termopunkt BF typu K i N.

Parametry techniczne	Główna wielopunktowa termopara BF
Parametry techniczne	Wewnątrz
Typ	K,N
Drut lub średnica MIMS	φ2~4
Pracujący temperatura (stopień)	0~950
Dokładność (stopień)	± 1,5 lub 0. 4%· t
Długość rurki ochronnej (mm)	Mniej niż 4000
Średnica rurki ochronnej (mm)	φ14~22
Materiał rurki ochronny	310s lub 321
Struktura gorąca	Bezludny
Liczba punktów	3 ~ 9 punktów
Zakończenie	Mały złącze
Drut odszkodowania	Kx (nx) {{0}} × 0,5fpf
Charakterystyka struktury	Łatwe do demontażu, t/c dla dowolnego punktu można w razie potrzeby usunąć